(받은글)

RFHIC

1) AMAT에 CVD 장비용 플라즈마 발생기(마이크로웨이브 제너레이터) 공급 예상

마이크로웨이브 제너레이터: GaN 트렌지스터와 전력 증폭기의 기술을 적용한 제품. 현재 전세계 독점 기술로, AMAT을 시작으로 세메스와 원익IPS 등에 공급 확대 예정

2) 2Q23 AMAT 양산 퀄 완료 후, 하반기부터 기존 진공관 방식의 플라즈마 발생기를 교체해 나아갈 전망

3) RFHIC 증설. 2023년 말 과천 신사옥(현재 공장 대비 3배 면적) 완공 예정